جلوگیری از مشکلات ناشی از خراب شدن لامپهای مادون قرمز در فرآیند تولید ویفرها اگر تا به حال شاهد خراب شدن لامپ مادون قرمز در هنگام کار با دستگاه بودهاید، میدانید که این موضوع چقدر وحشتناک است. مسئله فقط متوقف شدن دستگاه نیست؛ بلکه لولههای کوارتزی مربوطه منفجر میشوند و تکههای کوچک شیشه و مواد شیمیایی را روی ویفرها پاشیده میکنند. با یک انفجار ساده، محصولات تولید شده از بین میروند. چرا این لامپها منفجر میشوند؟ معمولاً دلیل آن، شوک حرارتی یا جریان الکتریکی ناگهانی است. ما از کوارتز با دیواره ضخیم برای حفظ پایداری دستگاه استفاده میکنیم؛ اما قوانین فیزیک را نمیتوان نادیده گرفت. اگر توان لامپ بیش از حد باشد، یا فاصله کافی برای خنک شدن وجود نداشته باشد، نقاط داغی ایجاد میشود. در این صورت، شیشه ضعیف میشود و ترک میخورد. چگونه از پاشیده شدن تکههای شیشه جلوگیری میکنیم؟ ما دیگر به شیشه برای حفظ ساختار لامپ اتکا نمیکنیم؛ در عوض، یک مانع فیزیکی در مسیر تکههای شیشه قرار میدهیم. اگر لامپ خراب شود، این مانع تکههای شیشه را در خود نگه میدارد و ویفرها تمیز باقی میمانند. همچنین، ما به بررسی دقیق اتصالات لامپها پرداختیم؛ زیرا بیشتر ترکها در انتهای لامپها به دلیل ایجاد جریان الکتریکی ایجاد میشود. اگر پینها به درستی جایگذاری نشوند، گرمای زیادی ایجاد میشود. ما از اتصالات دقیق برای جلوگیری از این مشکلات استفاده کردیم. معایب این روش: استفاده از این مانع فیزیکی، به معنای کاهش کمی از قدرت انتقال اشعه مادون قرمز است؛ زیرا این مانع مقدار کمی از تشعشعات را جذب میکند. این موضوع چندان مشکلساز نیست، اما احتمالاً لازم است زمان کار دستگاه را تنظیم کنید یا توان لامپ را کمی افزایش دهید تا محصولات تولید شده در حالت مناسب باقی بمانند. **نکته آخر:**به فنهای خنککننده دستگاه توجه کنید؛ اگر دستگاه بیش از حد گرم شود، این مانع فیزیکی میتواند تغییر شکل دهد. در این صورت، این مانع دیگر نمیتواند از خراب شدن لامپ جلوگیری کند. حتماً هوا را در حالت جریان داشته باشید تا دستگاه سالم بماند.