Arrêtez de gaspiller votre énergie : une meilleure façon de chauffer les wafer Si vous avez déjà essayé de chauffer des wafer à l’intérieur d’une boîte étanche, vous connaissez bien ce problème. Vous mettez de l’énergie dans les lampes infrarouges, mais la moitié de cette énergie est simplement réfléchie par les parois de la chambre. C’est du gâchis. Vous payez pour de l’électricité qui ne touche même pas votre substrat. Nous avons trouvé un moyen d’éviter cela. Au lieu de laisser la chaleur se disperser, nous avons intégré des réflecteurs revêtus d’or directement dans l’ensemble du chauffage. Pourquoi de l’or ? Ce n’est pas pour son aspect brillant. L’or est extrêmement efficace pour refléter les rayonnements infrarouges – jusqu’à 98 % d’entre eux. En revêtant l’arrière du dispositif d’or de haute pureté, nous forçons ces photons à rebondir vers le wafer. Cela transforme une lumière diffusée en un faisceau concentré. Vous obtenez ainsi les températures souhaitées, sans avoir besoin d’augmenter la tension ou d’acheter des lampes plus grosses. Mais il y a un inconvénient : lorsque vous envoyez toute cette énergie vers le wafer, les conditions deviennent intenses. La coque en quartz de la lampe subit alors plus de pression. Et si les réflecteurs ne sont pas parfaitement alignés, même de quelques millimètres, cela peut provoquer des points chauds qui peuvent endommager le wafer. C’est pourquoi nous accordons tant d’attention aux spécifications techniques : nous veillons à ce que le faisceau lumineux atteigne toujours le centre du substrat. Une dernière chose : veillez bien au système de refroidissement. Comme la chaleur ne pénètre plus dans l’arrière de la boîte étanche, la charge sur le côté avant est importante. Assurez-vous que la ventilation de la boîte étanche soit suffisante, sinon vos équipements pourraient être endommagés. Comment ça marche ? Le meilleur aspect de ces dispositifs, c’est qu’ils peuvent être remplacés directement. Vous n’avez pas besoin de reconstruire tout le système. De plus, nous utilisons des connecteurs résistants aux hautes températures, afin que vous ne vous inquiétiez pas de l’oxydation des broches pendant les longs cycles de chauffage. Comme vous tirez maintenant le meilleur parti de chaque watt, vous pouvez même utiliser une alimentation électrique plus petite. Ou encore, vous pouvez réduire considérablement le temps nécessaire pour chauffer les wafer. Cela allège également la charge sur vos disjoncteurs, et vos wafer atteignent plus rapidement la température souhaitée.