ワットを無駄にしない方法：ウェーハを加熱するためのより良い方法 もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その手間暇の多さはご存知でしょう。IRランプに電力を供給していても、そのエネルギーの半分はチャンバーの壁に反射してしまいます。これは明らかな無駄遣いです。実際にウェーハに届かない電力の代金を支払っているわけです。 私たちは、このエネルギーの損失を防ぐ方法を見つけました。熱が散乱するのを防ぐために、ヒーターアセンブリ自体に金コーティングされた反射板を設置しました。 なぜ金なのか？ それは単に見栄えのためではありません。金は赤外線を非常に効果的に反射します。実に98％もの赤外線が反射されます。高純度の金でハウジングの裏側を覆うことで、光子をウェーハに向けて直接送ることができます。これにより、散乱した光が集中したビームに変わります。電圧を上げたり、より大きくて重いランプを購入したりする必要がなく、必要な表面温度を得ることができます。 しかし、問題点もあります。 大量のエネルギーが前方に送られると、ランプの石英ケースに負担がかかります。また、反射板が数ミリメートルずれてしまうと、ウェーハが損傷する可能性があります。だからこそ、私たちは仕様に細心の注意を払っています。常に焦点がウェーハの中心に合うようにしているのです。 もう一つ、冷却にも注意が必要です。熱がハウジングの裏側に行かなくなるため、前端の負荷が増えます。グローブボックスの換気機能が十分でないと、装置が変形してしまう可能性があります。 使用方法 最良の点は、これらは既存の装置にそのまま取り替えられるということです。全体を再構築する必要はありません。また、高温対応のコネクタも使用しているので、長時間の加熱処理中にピンが酸化する心配もありません。 すべてのワットを最大限に活用できるので、より小さい電源を使えるかもしれません。また、ウェーハを所定の温度にするのにかかる時間も大幅に短縮されます。これにより、ブレーカーへの負担も減り、ウェーハをより迅速に目標温度に到達させることができます。