なぜ半導体用トロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや部品を加工工程間で移動させる際、温度を一定に保つことが最も重要です。長年にわたり、私たちは主に熱風循環方式を利用してきました。確かに効果はありましたが、速度が遅いのが欠点でした。 最近では、このようなトロリーシステムに赤外線加熱を導入し始めています。その理由は、空気が温まるのを待つのは時間の無駄だからです。
空気が温まるのを待つことの問題点
対流の仕組みを考えてみてください。まず空気を温め、その後空気がトロリーを温め、最終的にトロリーが基板を温めます。これは連鎖反応です。 クリーンルームでは、この遅れが生産性を低下させる要因となります。 赤外線加熱は、この中間段階を省略します。電磁波を直接目標物に当てることで、ほぼ即座に加熱が行われます。準備時間が省け、1時間あたりに処理できる量が増えます。まるで電灯のスイッチを切り替えるような感覚です。
赤外線加熱と強制送風の違い
強制送風式の場合、ファンやダクト、そして粒子を防ぐための多数のフィルターが必要です。そのため、床面積を多く占有します。 一方、赤外線ヒーターは非常にコンパクトです。巨大な空気処理装置を使わずに、トロリーの枠内に簡単に設置できます。 ただし、注意点もあります。 赤外線加熱は直射光が必要です。もし荷物が不均等に配置されていたり、何かが光の通路を塞いでいたりすると、冷たい部分ができてしまいます。単にランプを置くだけでは不十分で、ランプの配置には十分注意する必要があります。一般的には、複数のランプを使用するのが最善です。そうすれば、全体に均一に熱が行き渡ります。
クリーンルーム内での設置
これらの装置は、極度に清潔であるように作られています。ファンがないため、空気が乱流になって粉塵や粒子が舞い上がることもありません。また、加熱素子を石英で覆ったり、特殊なコーティングを施したりして、何も外部に漏れ出さないようにしています。 電気的な側面でのポイントとしては、起動時の電流の急増に注意する必要があります。高ワット数の赤外線ランプは、起動した瞬間に大量の電流を消費します。もし電気盤が既に限界に達している場合、シフトが始まる瞬間にブレーカーが切れてしまう可能性があります。そうならないように、ブレーカーをアップグレードするか、加熱のタイミングをずらして、全ての装置が同時に起動しないようにする必要があります。