Het maximale uit het droogproces van uw wafers halen
Tijdens het droogproces van wafers moet u een balans vinden. U moet de oplosmiddelen uit de wafers halen of de juiste chemische reactie teweegbrengen. Maar u kunt de hitte niet zomaar verhogen, want anders wordt het substraat beschadigd.
Hier komt de rol van de reflectoren om de hoek kijken. Wij gebruiken reflectoren die met goud zijn bedekt. Eerlijk gezegd willen we namelijk niet dat de infrarode energie in het machinechassis terechtkomt en verspild wordt.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met aluminium, maar dit werkt niet goed voor lange golflengten van infraroodlicht. Er gaat te veel hitte doorheen. Goud is anders: door gebruik te maken van een goudlaag die onder vacuüm wordt aangebracht, kunnen we bijna al die infrarode straling terugkaatsen naar waar het thuishoort. Hierdoor wordt de hitte gerichter gestuurd. Kortom: u krijgt meer energie per watt.
Het gaat om de vorm
De vorm van de reflector bepaalt hoe de hitte op de wafer terechtkomt. Een paraboolvormige reflector concentreert de stralen, terwijl een elliptische reflector de hitte op een specifiek punt richt. Als de parameters niet kloppen, zult u problemen ondervinden. Er kunnen ‘hot spots’ op de wafer ontstaan, wat betekent dat het droogproces oneffen verloopt. In het ergste geval begint het substraat zelfs te vervormen. Om te voorkomen dat de energie lekt, zorgen we ervoor dat de lamp precies in het midden van de optische as staat. Precisie is hier belangrijk.
Het nadeel
Goud is natuurlijk uitstekend voor het geleiden van hitte, maar het is ook erg broos. Het kan geen harde reiniging verdragen. Als uw team strenge chemicaliën of schuurpads gebruikt om de werkplaats schoon te maken, zal de goudlaag beschadigen. Zodra dat gebeurt, daalt de efficiëntie drastisch. U moet deze onderdelen voorzichtig behandelen. Een beschermend kwartsbeschermingslaag is meestal de beste oplossing.
Een tip voor de installatie
Als u deze systemen installeert, moet u rekening houden met het feit dat een hogere efficiëntie betekent dat de wafer meer energie opneemt dan eerst. Mogelijk moet u de stroomsterkte verminderen of de transportband sneller laten draaien, zodat alles niet te lang wordt gedroogd. Vergeet ook het beschermingsmechanisme niet. U wilt immers niet dat de rest van uw apparatuur al die energie opneemt.