Làm thế nào để sấy khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả?
Việc sấy khô các tấm wafer cảm biến MEMS là một công việc đòi hỏi sự tỉ mỉ cao. Nếu không kiểm soát được nhiệt độ một cách chính xác, các tấm wafer này sẽ bị hư hại do lực ma sát hoặc sức căng bề mặt. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các bộ phận gia nhiệt bằng tia hồng ngoại để làm bay hơi các chất lỏng còn sót lại. Mục tiêu là loại bỏ hết độ ẩm mà không làm hư hại các màng mỏng trên tấm wafer.
Vấn đề liên quan đến công suất năng lượng
Khi nói đến công suất năng lượng, bạn cần có một lượng năng lượng đủ lớn để hoàn thành công việc một cách nhanh chóng. Vấn đề là: nếu công suất quá thấp, quá trình sấy sẽ kéo dài và gây ra những vết ướt trên tấm wafer. Nhưng nếu công suất quá cao, tấm wafer sẽ bị biến dạng. Đây là một vấn đề cần cân bằng. Chúng tôi điều chỉnh điện áp và công suất sao cho nhiệt lượng được phân bổ đều lên bề mặt tấm wafer. Hãy nhớ rằng, nếu bạn sử dụng các bộ phận gia nhiệt có công suất cao, hệ thống làm mát của máy cũng cần phải hoạt động tốt, nếu không bạn sẽ gặp vấn đề với nhiệt lượng dư thừa.
Vật liệu có độ bền cao
Chúng tôi sử dụng các vỏ bọc bằng thạch anh có độ tinh khiết cao, vì chúng có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột mà không bị nứt vỡ. Trong quá trình sản xuất MEMS, chúng tôi thường phủ một lớp vật liệu lên các ống gia nhiệt. Điều này giúp chuyển hướng chùm năng lượng sao cho nó tập trung vào tấm wafer thay vì chỉ làm nóng khung máy. Một mẹo nhỏ: hãy chú ý đến các đầu nối. Chúng thường là nguyên nhân gây ra các sự cố. Chúng tôi sử dụng các đầu nối chất lượng cao, vì nếu kết nối không ổn định, chúng có thể gây cháy các bộ phận của đèn trong vài tuần. Chúng tôi cũng cố gắng giảm kích thước các đầu nối, để có thể lắp đặt nhiều đèn hơn trong một buồng sấy nhỏ.
Những sự đánh đổi trong thực tế
Bạn không thể chỉ bật công tắc và hy vọng mọi thứ sẽ diễn ra tốt đẹp. Chúng tôi kết nối các thiết bị này vào hệ thống điều khiển bằng PLC, để có thể tăng dần công suất nhiệt. Nếu bạn sử dụng công suất tối đa ngay lập tức, bạn sẽ gặp nguy cơ bị sốc nhiệt. Nhưng vấn đề là: công suất càng cao, tuổi thọ của đèn càng ngắn. Bạn đang phải đánh đổi tuổi thọ của đèn để đổi lấy tốc độ sấy. Do đó, tôi khuyên bạn nên có lịch trình thay thế đèn một cách đều đặn. Việc thay thế đèn đúng lúc sẽ tiết kiệm chi phí hơn so với việc để đèn hỏng giữa quá trình sản xuất, dẫn đến phải vứt bỏ toàn bộ các tấm wafer. Ngoài ra, hãy kiểm tra định kỳ hệ thống cách điện – bạn chắc chắn không muốn dòng điện rò rỉ ảnh hưởng đến các tấm wafer.