别再浪费电能了：更高效的晶圆加热方法
如果您曾经在手套箱内为晶圆加热，就一定知道那种令人沮丧的经历。您不断向红外灯供电，但其中一半的能量都被腔室壁反射掉了——这简直就是浪费。您支付的电费却并没有真正用于加热晶圆。 我们找到了解决这个问题的方法：我们不在让热量散失，而是将镀金反射器直接安装在加热装置上。 为什么选择黄金？ 其实并非因为黄金的价值。黄金具有极佳的红外辐射反射能力——其反射率可达98%。通过用高纯度黄金包裹加热装置的背面，我们可以让光子直接照射到晶圆上。这样一来，原本分散的热量就能汇聚成一股集中的光束。这样，您就不需要提高电压或使用更大的灯具来获得所需的温度了。 不过，这也有一些注意事项。当所有能量都被集中起来时，温度会变得非常高。灯具的石英外壳也会承受更大的压力。而如果反射器的位置偏差几毫米，就可能导致局部过热，从而损坏晶圆。因此，我们非常注重各项参数的精确控制，确保光点始终能精确地照射到晶圆的中心。 另外，还要注意冷却问题。由于热量不再散发到设备背面，前部的散热负担就会增加。请确保手套箱的通风系统能够跟上需求，否则可能会导致设备变形。 使用方式 最棒的是，这些部件可以直接替换现有的部件，无需重新设计整个加热系统。此外，我们还使用了耐高温的连接器，因此不必担心针脚在长时间高温环境下氧化的问题。 既然每瓦特的能量都能得到充分利用，那么您或许可以用更小的电源来满足需求。或者，更棒的是，您可以大大缩短加热时间。这样不仅不会对电路造成过大负担，还能更快地让晶圆达到所需温度。