クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは温度そのものではありません。重要なのは、目に見えない微細な粒子です。 このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。これらの加熱要素からは、目に見えない微小な粒子が...

なぜ赤外線がホットエアよりも優れているのか もし依然としてホットエアを使っているのであれば、実質的には半日以上を待つ時間に費やしていることになります。 これは「より優れた装置」を持っているかどうかの問題ではありません。重要なのは時間です。高度な処理においては、空気を利用して熱を伝える方法は最悪の手...

赤外線ヒーターを、可燃性の洗剤があるクリーンルームで使用する場合、通常のランプはまるで時限爆弾のような存在です。石英管にわずかな火花が発生したり、微細な亀裂が生じたりすれば、機械が壊れるだけでなく、爆発につながります。 そのため、私たちは単にヒーターを作るだけではなく、それを保護シェルで覆います。...

ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう 大量生産用のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメ...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去...

ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために ウェーハを硬化処理する際には、バランスを取る必要があります。溶剤を除去したり、適切な化学反応を引き起こしたりしなければなりませんが、単に温度を上げすぎると、基板が破損してしまいます。 そこで役立つのが反射板です。私たちは金メッキされた反射板を使用します。...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行うとき、「効率」は二の次になります。重要なのは、粒子の制御だけです。 問題は、一般的なIRランプはかなり汚れやすいということです。ランプのシール部やエンドキャップから微細な破片が放出されます。それは見えないもの...

水素センサーの製造において、IRシステムを正しく活用することが重要です。水素センサーを作るには、適切な温度管理が不可欠です。そうでなければ、膜が壊れたり、触媒がうまく機能しなくなったりします。 もし依然として旧式の対流型オーブンを使っている場合、それは単なる推測に過ぎません。現代のスマートファブで...

なぜ防水型の赤外線照射装置が無鉛基準に適しているのか 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力が続けられています。理論上は素晴らしいことですが、実際には大変な問題があります。 ほとんどの人々は、一般的な対流式オーブンを使っています。問題点は、1枚のウェーハを温めるために部屋全体を加熱...

カーボンナノチューブを作るには、熱が不可欠です。しかし問題は、化学的な処理が行われる場所では、爆発しやすい蒸気に囲まれているという点です。そのような環境で通常の赤外線ランプを使うのは、まるで火事を招くようなものです。 私たちは、そのような事態を防ぐ方法を見つけました。 実際の製造方法 単にランプに...

ファブ内の二酸化炭素排出量を削減する：なぜ金コーティングされた加熱装置が効果的か 半導体製造において、正確な温度を維持するのはかなり難しい。多くの人々は従来の抵抗式オーブンを使っていますが、これらはエネルギーの消費が激しい。目的を達成するために大量の熱が無駄に消費されてしまいます。 私たちはより良...

クラス100の清潔室での使用において、汚染の心配をする必要はありません。クラス100の清潔室を運用しているときに最も避けたいのは、加熱要素が粒子や化学物質を放出してしまうことです。実際、これは思っているよりも頻繁に起こります。一般的な抵抗式ヒーターは、加熱や冷却の際に微細な破片を飛ばしてしまいます...

セミインフラレッド加熱における適切な温度制御 半導体製造工場の炭素排出量を実際に削減したいのであれば、古くて非効率的な抵抗加熱装置に頼るのはやめなければなりません。そうした装置は効率が悪すぎます。代替案としては、赤外線加熱があります。これは、ウェーハ自体を加熱するため、より効率的な方法です。 しか...

なぜ私たちはオーブンの代わりに赤外線を使うのか バイオセンサーを製造する際、硬化処理は非常にデリケートな作業です。化学的な層を正確に安定させる必要がありますが、温度管理を間違えると、基板全体が汚染されてしまいます。 長年にわたり、最も一般的な方法は対流式オーブンを使用することでした。しかし正直なと...

半導体製造用のホットプレートでの「過度な加熱」を防ぐには？ 運搬用カートの表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？これが、従来の加熱要素が持つ問題です。従来の加熱要素は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。そうした古式のヒーターを使うと...