金コーティングされた反射板を用いたグローブボックスヒーターにおける放射エネルギー密度の最適化
ワットを無駄にしない方法:ウェーハを加熱するためのより良い方法 もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その手間暇の多さはご存知でしょう。IRランプに電力を供給していても、そのエネルギーの半分はチャンバーの壁に反射してしまいます。これは明らかな無駄遣いです。実際にウェーハに届か...
グローブボックス用赤外線ヒーター要素
なぜ無鉛半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか?
正直に言えば、従来の対流式乾燥法はもう時代遅れです。
グローブボックス内で作業する場合、数個の部品を乾燥させるために、不活性ガスで満たされたチャンバー全体を加熱するのは、エネルギーの無駄遣いになります。だからこそ、より多くの人々が赤外線加熱を採用し...