金コーティングされた反射板を用いたグローブボックスヒーターにおける放射エネルギー密度の最適化

ワットを無駄にしない方法：ウェーハを加熱するためのより良い方法 もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その手間暇の多さはご存知でしょう。IRランプに電力を供給していても、そのエネルギーの半分はチャンバーの壁に反射してしまいます。これは明らかな無駄遣いです。実際にウェーハに届か...