ワットを無駄にしない方法：ウェーハを加熱するためのより良い方法 もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その手間暇の多さはご存知でしょう。IRランプに電力を供給していても、そのエネルギーの半分はチャンバーの壁に反射してしまいます。これは明らかな無駄遣いです。実際にウェーハに届か...

混乱を防ぐ：ウェーハ処理中に赤外線ランプが故障したとき 高負荷の運転中に赤外線ランプが破裂してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。 その石英管が破壊されると、静かに壊れるわけではありません。実際には爆発し、ウェーハに微細なガラス...

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキ式反射器が重要なのか 半導体ウエハーを処理する際、無駄になる1ワットものエネルギーは、要するにお金の無駄に他なりません。また、それによって冷却に関する大きな問題が生じます。 だからこそ、金メッキ式反射器を使用するのです。目的は単純です——素子から出る熱がすべてウ...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産ラインでは、ランプが破損することは、単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、そのロット全体がダメになってしまいま...

なぜ赤外線がホットエアよりも優れているのか もし依然としてホットエアを使っているのであれば、実質的には半日以上を待つ時間に費やしていることになります。 これは「より優れた装置」を持っているかどうかの問題ではありません。重要なのは時間です。高度な処理においては、空気を利用して熱を伝える方法は最悪の手...

ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう 大量生産用のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメ...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去...

ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために ウェーハを硬化処理する際には、バランスを取る必要があります。溶剤を除去したり、適切な化学反応を引き起こしたりしなければなりませんが、単に温度を上げすぎると、基板が破損してしまいます。 そこで役立つのが反射板です。私たちは金メッキされた反射板を使用します。...

ファブ内では、洗浄の質は乾燥の質次第です。洗浄後に残る水分や水痕、ストリークといったものが、特に28ナノメートル以下のサイズのウェーハでは、生産性を急速に低下させます。通常のホットプレートを使うと、温度変動が生じ、チャックが上下に動くたびに粒子が発生します。 そこで、迅速かつ正確に乾燥させるために...

ファブの現場では、スクラバーから出てくるウェットプロセス用のキャリアには、水分をリソグラフィーベイ内に持ち込むことができません。残留する膜や水分の影響により、歩留まりが低下するだけでなく、再加工が必要になり、次の焼成処理時の熱負荷も増加します。そのため、ドライヤーは、粒子を混入させず、キャリアに過...

製造現場において、酸化処理中の温度変動は単なる数値として表れるだけではありません。それは生産効率に直接影響を与えます。ウェーハ上のある点で2℃の温度上昇が起きるだけで、閾値電圧が乱れ、何週間もかけて行った微調整の成果が台無しになります。私たちは、このような問題を解決するために、ウェーハの酸化処理用...