ワットを無駄にしない方法：ウェーハを加熱するためのより良い方法 もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その手間暇の多さはご存知でしょう。IRランプに電力を供給していても、そのエネルギーの半分はチャンバーの壁に反射してしまいます。これは明らかな無駄遣いです。実際にウェーハに届か...

なぜ無鉛半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか？ 正直に言えば、従来の対流式乾燥法はもう時代遅れです。 グローブボックス内で作業する場合、数個の部品を乾燥させるために、不活性ガスで満たされたチャンバー全体を加熱するのは、エネルギーの無駄遣いになります。だからこそ、より多くの人々が赤外線加熱を採用し...

製造現場において、酸化処理中の温度変動は単なる数値として表れるだけではありません。それは生産効率に直接影響を与えます。ウェーハ上のある点で2℃の温度上昇が起きるだけで、閾値電圧が乱れ、何週間もかけて行った微調整の成果が台無しになります。私たちは、このような問題を解決するために、ウェーハの酸化処理用...