金コーティングされた反射板を用いてウェーハヒーター内の放射エネルギー伝達を最大化する
熱の無駄遣いを止めよう:なぜ金メッキ式反射器が重要なのか 半導体ウエハーを処理する際、無駄になる1ワットものエネルギーは、要するにお金の無駄に他なりません。また、それによって冷却に関する大きな問題が生じます。 だからこそ、金メッキ式反射器を使用するのです。目的は単純です——素子から出る熱がすべてウ...
省エネ型半導体ヒーター
空気を加熱するのをやめて、製品自体を加熱しましょう。
もし近代的な製造工場を構築するつもりなら、まず最初に古い加熱方法を捨てる必要があります。それらは非効率的です。私たちは、高効率な赤外線加熱システムを採用しています。なぜなら、このシステムは古い方法ではできないことを実現できるからです。つまり、熱...
省エネ型ウェーハヒーター
シャードの発生を防ぐ:ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産ラインでは、ランプが破損することは、単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。
石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、そのロット全体がダメになってしまいま...
工場乾燥設備のエネルギー審査
はじめに 想像してみてください。すべてがデータと精密さによって制御されるスマートファクトリーを構築しようとしているとします。そんな場所では、不安定で遅い加熱源など、絶対に許されません。
だからこそ、私たちは高出力のハロゲン素子を利用した赤外線乾燥システムを開発しました。これらの素子は、瞬時に集中し...