半導体クリーンルームにおけるサイクルタイムの短縮：赤外線加熱と強制送風加熱

なぜ半導体用トロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや部品を加工工程間で移動させる際、温度を一定に保つことが最も重要です。長年にわたり、私たちは主に熱風循環方式を利用してきました。確かに効果はありましたが、速度が遅いのが欠点でした。 最近では、このようなトロリーシステムに赤外線加熱を導入し始め...