保護用赤外線ランプの設計によるウェーハの汚染防止
混乱を防ぐ:ウェーハ処理中に赤外線ランプが故障したとき 高負荷の運転中に赤外線ランプが破裂してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。 その石英管が破壊されると、静かに壊れるわけではありません。実際には爆発し、ウェーハに微細なガラス...
スマートセンサーパッケージ 紅外線
赤外線と熱風:センサーパッケージングにおいて、実際に優れているのはどちらか? もし依然として半導体の深層加工に熱風を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を加熱します。これは中間媒体を...