半導体製造におけるサイクルタイムの短縮:デジタルIR制御と熱風循環方式の比較
なぜ、私たちは通常の対流オーブンをデジタル赤外線装置に切り替えるのか? 通常の対流オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が最終的に部品を加熱します。これは非常に遅いプロセスです。半導体製造の世界では、この遅さが大きな障害となります。それが生産ラインの速度を妨げる要因になっ...
半導体クリーンルームにおけるサイクルタイムの短縮:赤外線加熱と強制送風加熱
なぜ半導体用トロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや部品を加工工程間で移動させる際、温度を一定に保つことが最も重要です。長年にわたり、私たちは主に熱風循環方式を利用してきました。確かに効果はありましたが、速度が遅いのが欠点でした。 最近では、このようなトロリーシステムに赤外線加熱を導入し始め...