なぜ、私たちは通常の対流オーブンをデジタル赤外線装置に切り替えるのか？ 通常の対流オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が最終的に部品を加熱します。これは非常に遅いプロセスです。半導体製造の世界では、この遅さが大きな障害となります。それが生産ラインの速度を妨げる要因になっ...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去...

はじめに 想像してみてください。すべてがデータと精密さによって制御されるスマートファクトリーを構築しようとしているとします。そんな場所では、不安定で遅い加熱源など、絶対に許されません。 だからこそ、私たちは高出力のハロゲン素子を利用した赤外線乾燥システムを開発しました。これらの素子は、瞬時に集中し...

ファブ内では、洗浄の質は乾燥の質次第です。洗浄後に残る水分や水痕、ストリークといったものが、特に28ナノメートル以下のサイズのウェーハでは、生産性を急速に低下させます。通常のホットプレートを使うと、温度変動が生じ、チャックが上下に動くたびに粒子が発生します。 そこで、迅速かつ正確に乾燥させるために...