真空対応の赤外線ヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、真空チャンバーやクラス100のクリーンルーム内でワークピースを加熱する場合、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業したウェハーや光学コーティングはすべて無駄になってしまいます。 一般的な加熱素子では、このような...