リソグラフィーの工程では、アッシングチャンバーがフォトレジストを除去する際の熱条件を決定します。設定値から半度でも偏差が生じると、残留物が残ったり、最悪の場合は下層の層が損傷したりします。1枚のウェーハが不良になるだけで、全体の工程が台無しになってしまいます。赤外線加熱を利用すれば、このような熱条...

製造現場において、酸化処理中の温度変動は単なる数値として表れるだけではありません。それは生産効率に直接影響を与えます。ウェーハ上のある点で2℃の温度上昇が起きるだけで、閾値電圧が乱れ、何週間もかけて行った微調整の成果が台無しになります。私たちは、このような問題を解決するために、ウェーハの酸化処理用...