混乱を防ぐ：ウェーハ処理中に赤外線ランプが故障したとき 高負荷の運転中に赤外線ランプが破裂してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。 その石英管が破壊されると、静かに壊れるわけではありません。実際には爆発し、ウェーハに微細なガラス...

なぜ、私たちは通常の対流オーブンをデジタル赤外線装置に切り替えるのか？ 通常の対流オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が最終的に部品を加熱します。これは非常に遅いプロセスです。半導体製造の世界では、この遅さが大きな障害となります。それが生産ラインの速度を妨げる要因になっ...

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキ式反射器が重要なのか 半導体ウエハーを処理する際、無駄になる1ワットものエネルギーは、要するにお金の無駄に他なりません。また、それによって冷却に関する大きな問題が生じます。 だからこそ、金メッキ式反射器を使用するのです。目的は単純です——素子から出る熱がすべてウ...

なぜ半導体用トロリーに赤外線加熱を採用するのか ウェーハや部品を加工工程間で移動させる際、温度を一定に保つことが最も重要です。長年にわたり、私たちは主に熱風循環方式を利用してきました。確かに効果はありましたが、速度が遅いのが欠点でした。 最近では、このようなトロリーシステムに赤外線加熱を導入し始め...

空気を加熱するのをやめて、製品自体を加熱しましょう。 もし近代的な製造工場を構築するつもりなら、まず最初に古い加熱方法を捨てる必要があります。それらは非効率的です。私たちは、高効率な赤外線加熱システムを採用しています。なぜなら、このシステムは古い方法ではできないことを実現できるからです。つまり、熱...

ファブ内の二酸化炭素排出量を削減する：なぜ金コーティングされた加熱装置が効果的か 半導体製造において、正確な温度を維持するのはかなり難しい。多くの人々は従来の抵抗式オーブンを使っていますが、これらはエネルギーの消費が激しい。目的を達成するために大量の熱が無駄に消費されてしまいます。 私たちはより良...

セミインフラレッド加熱における適切な温度制御 半導体製造工場の炭素排出量を実際に削減したいのであれば、古くて非効率的な抵抗加熱装置に頼るのはやめなければなりません。そうした装置は効率が悪すぎます。代替案としては、赤外線加熱があります。これは、ウェーハ自体を加熱するため、より効率的な方法です。 しか...

半導体製造用のホットプレートでの「過度な加熱」を防ぐには？ 運搬用カートの表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？これが、従来の加熱要素が持つ問題です。従来の加熱要素は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。そうした古式のヒーターを使うと...

状況が不安定になったときにも、物を安全に保つために：テフロンでコーティングされた赤外線ヒーター 正直に言って、半導体の化学的洗浄は非常に危険な作業です。使用する溶剤は、いつ爆発してもおかしくない状態にあります。 もし通常の赤外線ランプをそのような場所に使おうものなら、大変なトラブルに見舞われるでし...

製造現場においては、温度のばらつきは許されない。ソフトベイクやハードベイクの温度が不安定になったり、アニーリングのプロファイルが適切でなかったりすると、ウェーハの幅の制御が失われたり、残留膜が発生したり、歩留まりが低下したりします。私たちは、先端ノードで求められる厳格な要件に応えるために、専用の半...

24時間365日稼働するファブフロアでは、接着剤の硬化を逐一監視する時間はない。温度異常が一回でも起これば、不均一なベークが発生し、フォトレジストのプロファイル損失、エッジビードのトラブル、あるいはパッケージングまで持ち込まれるボンドラインの空洞といった問題に直面する。熱予算が厳しく、稼働率が絶対...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク工程においてドリフトの余裕はほとんどありません。90℃でのソフトベークが±2℃のドリフトを起こすと、レジストのプロファイルが膨張し、ライン幅の制御に影響を与えます。必要なのは、ウェーハ全体で温度を一定に保持するヒーターであり、変動するものではありません。 技...

ファブフロアでは、熱ドリフトは議論の対象ではなく、0.1℃単位で測定される。ソフトベイクの加熱温度をわずかに超えるだけで、フォトレジストの寸法管理が崩れる。乾燥工程を誤れば、ダイシング後にしか表れない微小欠陥を発生させることになる。工程装置のヒーターランプは単なる部品ではなく、プロセスウィンドウの...