金コーティングされた反射板を用いてウェーハヒーター内の放射エネルギー伝達を最大化する

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキ式反射器が重要なのか 半導体ウエハーを処理する際、無駄になる1ワットものエネルギーは、要するにお金の無駄に他なりません。また、それによって冷却に関する大きな問題が生じます。 だからこそ、金メッキ式反射器を使用するのです。目的は単純です——素子から出る熱がすべてウ...