保護用赤外線ランプの設計によるウェーハの汚染防止
混乱を防ぐ：ウェーハ処理中に赤外線ランプが故障したとき 高負荷の運転中に赤外線ランプが破裂してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。 その石英管が破壊されると、静かに壊れるわけではありません。実際には爆発し、ウェーハに微細なガラス...
バイオセンサー製造における 安全性を重視したIRランプによるウェーハの汚染防止
もう、一つのランプのせいで生産性が台無しになるのを許してはいけません。 バイオセンサーの製造において、たった一つの故障でも全てを台無しにしてしまいます。これは悪夢のような状況です。高負荷の状態で石英管が破れてしまうと、ウェーハがガラスの破片や化学物質で覆われてしまいます。そうなると、そのロット全体...