ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう 大量生産用のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメ...

ファブフロアでは、熱の逸脱は警告として現れることはなく、歩留まりの低下として現れる。フォトレジストのベーク中に0.5℃のドリフトが発生するだけで、重要寸法の管理が仕様外に押し出される。均一でないホットプレートでは、ウェハ乾燥後にウォーターマークが発生する。損失はスクラップだけでなく、スケジュール遅...