クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、真空チャンバーやクラス100のクリーンルーム内でワークピースを加熱する場合、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業したウェハーや光学コーティングはすべて無駄になってしまいます。 一般的な加熱素子では、このような...

真空チャンバー内のヒーターが短絡しないようにする方法 真空中で赤外線ヒーターを使用する際には、ミスが許されません。わずかな電気アークや漏れがあれば、真空状態が崩れたり、敏感な基板が破壊されたりします。これは最悪の事態です。 私たちは、大量の熱に耐えられるようにこのヒーターを製造していますが、実際の...