混乱を防ぐ：ウェーハ処理中に赤外線ランプが故障したとき 高負荷の運転中に赤外線ランプが破裂してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。 その石英管が破壊されると、静かに壊れるわけではありません。実際には爆発し、ウェーハに微細なガラス...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際にわずか0.5度のずれがあるだけで、大量の製品が廃棄されてしまいます。そのため、迅速な加熱が可能な短波長のIRランプが使用されますが、それもランプの出力が安定しており、ケースが汚れていない場合に限ります。 だからこそ、クォーツスリーブは単なるカバーではあ...