もう無駄なエネルギーの消費はやめましょう。なぜ金メッキされたUHPランプが最適なのか。 半導体製造工場において、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは設計上の欠陥です。 一般的なUHPランプを考えてみてください。そのランプからはあらゆる方向に放射線が放出されます。しかしウェ...

ファブフロアでは、熱の逸脱は警告として現れることはなく、歩留まりの低下として現れる。フォトレジストのベーク中に0.5℃のドリフトが発生するだけで、重要寸法の管理が仕様外に押し出される。均一でないホットプレートでは、ウェハ乾燥後にウォーターマークが発生する。損失はスクラップだけでなく、スケジュール遅...