Voorkom dat kapotte lampen je wafers beschadigen
In apparaten die veel wafers verwerken, is het kapotgaan van een lamp meer dan alleen een lastig probleem of wat stilstand. Het is een nachtmerrie.
Als de kwartskamer barst, vallen er scherpe glasdeeltjes en geëvaporeerd wolfraam op de wafers. Dat betekent dat de hele lading wafers onbruikbaar wordt. Daarnaast moet de hele kamer grondig worden schoongemaakt. Niemand wil zijn weekend besteden aan zulke klusjes.
Omgaan met de hitte
We bouwen onze infraroodlampen zo dat ze bestand zijn tegen de constante, strenge omstandigheden in semiconductieapparaten. Meestal gaan lampen kapot omdat de thermische uitzetting oneffen is – het glas kan de temperatuurschommelingen niet bijhouden.
Om dit op te lossen gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal is sterk en kan de snelle temperatuurschommelingen doorstaan zonder te breken.
Maar we stoppen daar niet bij. We gebruiken ook een ‘veiligheidsnetwerk’: we wikkelen de emissoren in een broodschaalbestendige huls of gebruiken een speciale laag. Op deze manier blijven de brokstukken binnenin zitten, zodat ze je producten niet beschadigen.
Het balanceren van vermogens
Hoge-vermogenslampen leveren de nodige hitte om wafers snel te kunnen verwerken. Maar er is een trade-off: hoe meer vermogen er in een klein gebied wordt geproduceerd, hoe hoger de druk in het halogengas wordt. Als je een lamp kiest met te veel vermogen voor je koelsysteem, zal de kamer oververhit raken en zacht worden. De buis zal vervolgens breken.
Je moet het vermogen afstemmen op de luchtcirculatie in het apparaat. Als de lucht niet voldoende circuleert, zal de lamp eerder kapotgaan. Simpel gezegd.
Zorgen dat alles goed werkt
Kleine details zijn belangrijk. We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen, want een losse verbinding leidt tot problemen. Losse verbindingen veroorzaken hete plekken, waardoor lampen vroeg kapotgaan.
Een goede regel: controleer de spanning tussen de contactpunten elke 500 uur. Het duurt maar één minuut, maar het bespaart je uren aan schoonmaakwerk later.
Nog een tip: let goed op de bedrading. Zorg ervoor dat de beugels geen mechanische druk uitoefenen op het kwarts. Een onder druk staande buis is slechts een kwestie van tijd voordat deze breekt.
Als je het alignement goed regelt en de koeling stabiel houdt, zullen je lampen net zo lang meegaan als verwacht. Je wafers zullen je daarvoor bedanken.