Neden infraruj ışınları, waferler için sıcak hava yönteminden daha iyidir?
Eğer hala sıcak hava dolaşımına güveniyorsanız, aslında günün yarısını sadece bekleyerek geçiriyorsunuz demektir. Burada mesele “daha iyi ekipmanlara” sahip olmak değil; zaman konusudur. Derin işlemlerde hava, ısıyı taşımak için berbat bir araçtır. Dakikalarca beklemek zorunda kalırsınız; bu dakikalar binlerce wafer için toplandığında büyük kayıplara neden olur.
İnfraruj ışınları ise bu aracı ortadan kaldırır. Havayı umursamaz; enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine iletir.
Beklemenin gerçek maliyeti
Sıcak havanın nasıl çalıştığını düşünün: Önce odayı, ardından içindeki havayı ve son olarak da waferi ısıtmak gerekiyor. Bu süreç oldukça yavaştır. Her seferinde ısıyı artırmaya veya azaltmaya çalışırken bu gecikmeyi hissedersiniz.
İnfraruj lambaları farklıdır. Hedeflenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşırlar. Böylece en büyük engel ortadan kalkar. Isı transferi neredeyse anında gerçekleştiği için işlem süreleri kısalır. Bu çok hızlıdır. Ve bu durum, üretim kapasitenizi tamamen değiştirir.
“En iyi noktanın” bulunması
Elbette sadece bir lamba yerleştirip işi bitirmek mümkün değildir. İnfraruj vericisi ile wafer arasındaki mesafe çok önemlidir. Eğer lambayı çok yakına yerleştirirseniz, waferde aşırı ısınma veya bileşenlerin bozulması gibi sorunlar ortaya çıkar. Çok uzakta yerleştirirseniz ise infraruj ışınlarının etkisi kaybolur.
Genellikle bu mesafeyi lambanın dalga boyuna göre belirleriz. Kısa dalga boyundaki infraruj ışınları malzemenin derinliklerine kadar ulaşabilir; ancak kullanımı biraz zordur. Mesafeyi hassas bir şekilde ayarlamazsanız, wafer yüzeyi yanabilir.
Sorun: Isının kontrolü
İnfraruj ışınlarının büyük bir gücü vardır. Bu yüzden onu severiz; ancak bu özellik aynı zamanda onu karmaşık bir hale getirir. Hava dolaşımı ısıyı eşit şekilde dağıtır; ancak infraruj ışınları yönlüdür. Eğer düzenleme doğru yapılmazsa, waferin her yerinde eşit ısı dağılımı sağlanamaz.
Ayrıca, infraruj ışınları aslında havayı ısıtmadığı için soğutma sisteminizin ciddi termal dalgalanmalara karşı hazır olması gerekir. Eğer soğutma sistemi infraruj ışınlarının hızına yetişemezse, işlem süreci bozulur. Soğutmanın da ısıtma kadar etkili olması gerekir.