
如何充分利用晶圆固化过程
在晶圆固化过程中,需要找到一个平衡点。一方面要去除其中的溶剂,另一方面又要引发正确的化学反应。但如果你直接提高温度,就会损坏基底材料。
这时,反射器就派上用场了。我们选择镀金反射器,因为这样能够防止红外线能量泄漏到机器内部而浪费掉。
为什么选择黄金?
大多数人最初会选择铝制反射器,但实际上,铝并不适合处理长波红外线。因为它会让太多热量透过。而黄金则不同。通过真空沉积技术制成的黄金层,可以将几乎所有的红外线反射回去。这样一来,每瓦特的能量就能产生更大的效果。
形状也很重要
反射器的形状决定了热量如何作用于晶圆上。抛物面形的反射器可以使光束更加集中,而椭圆形的反射器则可以让热量集中在某个特定点上。如果形状不准确,就会出现“热点”,导致晶圆固化不均匀,甚至使基底材料变形。为了防止热量泄漏,必须确保灯管与光学轴完全对齐。精度非常重要。
不过也有缺点
虽然黄金在散热方面表现优异,但它质地柔软,无法承受强烈的磨损。如果使用腐蚀性化学物质或磨料来清洁工作区,那么黄金层就会被刮伤。一旦如此,效率就会大幅下降。因此,必须小心处理这些部件。通常,使用石英保护罩才是最明智的做法。
安装时的小贴士
在连接这些系统时,请记住:更高的效率意味着晶圆吸收的能量更多。你可能需要降低功率或加快传送速度,以避免过度固化。另外,也不要忘记使用防护装置,避免其他设备吸收过多的热量。