为什么红外线比热风更适合作为晶圆加热方式
如果你仍然依赖热风循环来加热晶圆，那基本上你有一半的时间都在等待中度过。 这并不是因为“更好的设备”能解决问题，而是时间的问题。在深度加工过程中，空气其实是一种非常糟糕的传热介质。你不得不浪费数分钟的时间来等待空气将热量传递到晶圆上——而这样的时间损失在处理成千上万的晶圆时累积起来可相当可观。 而红外线则可以避免这个中间环节。它不需要借助空气来传热，而是直接将能量照射到晶圆表面。
等待的真正代价 想象一下热风的工作原理：首先需要加热整个腔室，然后再加热其中的空气，最后才是晶圆本身。这是一个漫长的过程。每次进行升温或降温操作时，你都会感受到这种延迟。 而红外线灯则不同，它能在几秒钟内就将晶圆加热到目标温度。这样一来，最大的瓶颈就被消除了。由于热量传递几乎瞬间完成，因此生产周期也会大大缩短。速度极快，这无疑提升了生产效率。
找到最佳距离 不过，不能简单地把红外线灯安装上去就万事大吉了。红外线发射器与晶圆之间的距离非常重要。 如果距离过近，就会导致晶圆表面过热，甚至出现变形的情况。而如果距离过远，红外线的加热效果又会下降，这就失去了使用红外线的意义。 通常，我们会根据红外线灯的波长来确定最佳距离。短波红外线能更深入地渗透到材料内部，但它的控制难度较大。必须精确控制距离，否则就会烧坏晶圆表面。
难点：如何控制热量 问题在于，红外线的加热效果非常强。这就是我们喜欢它的原因，但同时也带来了挑战。 空气循环的方式是均匀地散发热量，而红外线则是定向加热的，就像聚光灯一样。如果布局不当，就无法让整个晶圆获得均匀的加热效果。 此外，由于红外线不会真正加热空气，所以冷却系统必须能够应对剧烈的温度变化。如果冷却系统无法跟上红外线的快速升温速度，那么整个加工过程就会受到影响。因此，确保冷却系统的效率与加热系统相当重要。